以富士公司为代表的少数企业生产了以硅电容传感器为核心的压力变送器。电容式压力传感器具有精度高、长期稳定性好的优点，但是，它对生产工艺要求高，加工难度大。国内从事硅电容压力传感器的研究可以说是刚刚起步。尽管国内已经有单位研制出了硅电容传感器它的精度和静压特性已接近富士公司产品的平均水平，但 在长期稳定性方面，差距较大。同时，国内的电容传感器在高差压和微差压规格的开发上仍有较大差距。国外压阻式传感器精度可以达到0.075%，而国内研制 的压阻式传感器的精度只有0.1%。在长期稳定性能上，国产传感器和进口传感器的差距更为明显。国产产品长期稳定性的指标为0.1%/年，比国外产品至少 高2倍。另外，国产产品的温度特性差。与国外产品相比，温度漂移比国外产品的典型值大50%～100%。此外，国产产品的规格品种不够全，在微差压和高差 压、高静压规格方面没有成熟的产品，不能满足某些工艺的特殊要求。

　　压力传感器的国产化问题的关键主要是如何提高传感器的长期稳定性。传感器的长期稳定性和传感器的材料选择、结构设计、加工工艺密切相关。我国在MEMS加 工工艺上还处于相对落后阶段，提高工艺水平无疑是提高传感器性能的长远之计。

　　目前，国内相关高校和科研院所对压阻式和电容式MEMS传感器进行了大量的研究，在理论和工艺水平上都取得了一批成果。就当前工艺水平而言，如果能够实现某种形式的补偿或者在线的自标定方法，则有可能在短期内提高传感器的长期稳定性，使国产传感器在稳定性指标上满足石化行业需求。因此，在国内MEMS研究的基础上，通过科研院所和工厂的协同合作，共同努力，完全可以实现石化行业所需压力变送器的国产化。