国家科技部已将IC装备列入“十一五”科技攻关重大专项，列支39亿元重点扶持通过自主创新所取得的高新技术项目。
　
　　经过专家们的反复考评筛选，沈阳新松机器人自动化股份有限公司自主开发的硅片传输系统项目、中科院沈阳科学仪器研制中心研制的“等离子体化学气相沉积设备”项目、沈阳芯源先进半导体技术有限公司“半导体与集成电路制造专用匀胶显影机”项目，获得了国家科技部重大项目支持。

　　据悉，到目前为止，我市IC装备制造产业自主创新项目已获得2亿元的专项扶持。　

新闻来源：沈阳日报